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KLA Gemini壓痕力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)

每時(shí)每刻用正確的答案對(duì)摩擦學(xué)進(jìn)行突破性的改變

使用KLA公司的Gemini系統(tǒng)探索新命令的準(zhǔn)確性，精確度和控制，這是世界上**臺(tái)用于研究納米級(jí)摩擦學(xué)和機(jī)械測(cè)試動(dòng)力學(xué)的多維儀器。

準(zhǔn)確性- Gemini提供****的自由，可以在多個(gè)方面探索接觸力學(xué)，因?yàn)樗鼇碜?/span>Nanomechanics，每次都對(duì)正確答案有強(qiáng)烈的信心。

精確度- Gemini的等軸測(cè)量軸實(shí)現(xiàn)了****的分辨率力范圍和動(dòng)態(tài)性能，意味著正常軸和橫軸都能提供KLA所期望的精確度。

控制-使用Gemini系統(tǒng)的多軸功能有效地解決了硬度，磨損和粘附問題，Gemini系統(tǒng)是以****的分辨率準(zhǔn)確研究摩擦學(xué)問題的必不可少的工具。

摩擦學(xué)+

單一的粗糙表征， 粘滑滑動(dòng) ，超薄膜 ，潤滑 ，阻尼 ，各向異性 ，泊松比 ，模數(shù) ，耐刮擦性 ，形貌 ，MEMS測(cè)試 ，附著力

準(zhǔn)確的多維測(cè)量

**個(gè)提供等距力位移測(cè)量的工具，用于研究硬度，摩擦學(xué)，磨損和粘附性。

優(yōu)越的規(guī)格

多維動(dòng)態(tài)性能

寬負(fù)載和位移范圍：50 mN和50μm

張力或壓縮：無過渡

快速時(shí)間常數(shù)：20μs，具有亞納米級(jí)噪聲

電磁激活：低漂移和動(dòng)態(tài)精度

高載荷框架剛度：7e5 N / m

精確的屬性測(cè)量

亞納米分辨率的樣品階段補(bǔ)充了致動(dòng)器，以產(chǎn)生高精度的靶向和壓痕測(cè)量。

控制橫向力

測(cè)量準(zhǔn)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)模式下的力和位移，采用亞納米和納米牛頓分辨率。