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1.方塊電阻范圍sheet resistance range

10-5～2×105Ω/□

10-4～2×104Ω/□

2.電阻率范圍

resistivity range

10-6～2×106Ω-cm

10-5～2×105Ω-cm

電導率范圍Conductivity range

5×10-6～106ms/cm

5×10-5～105ms/cm

3.測試電流范圍

test current range

0.1μA ，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100 mA

4.電流精度current

±0.1% accuracy

軟件界面

電阻、電阻率、方阻、溫度、單位切換、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率、圖譜顯示，壓力設定，壓強，報表導出，波形刷新，時間設定，啟動、停止、運行