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掃描電鏡配備牛津儀器波譜儀，可以實現微量及痕量元素、嚴重重疊峰元素的準確定量分析。牛津儀器AZtecWave系統結合了波譜儀解析X射線譜峰靈敏性、微量及痕量元素準確性以及能譜儀檢測元素時的高速及高靈活性的優勢。發揮波譜儀高X射線分辨率的特點，能夠在更低的檢測限下解析復雜的譜峰重疊。作為在高計數率下也可實現高準確定量分析的EDS探測器，Ultim Max能譜儀與Wave波譜儀結合，是一款優良的基于掃描電鏡（SEM）下的微區元素定性定量分析系統。

· 具有羅蘭圓幾何和彎曲晶體的全聚焦波譜儀；

· 羅蘭圓半徑210mm，具有優異的能量分辨率；

· 傾斜式安裝，工作距離對X-Ray信號強度較小；

· 峰背比高，檢測限低于100ppm；

· 電動入射狹縫，可優化分辨率和峰背比；

· 軟件導航式設計，初學者也可快速掌握WDS分析；