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加拿大Resonance公司從20世紀70年代就開始和加拿大空間局（CSA）專業研發生產紫外光源，并在80-90年代和NASA有著密切的合作，現在生產的真空紫外光源是基于Ar，He，Xe的高功率高通量的三種型號紫外光源，波長從范圍117~172nm。現在廣發用于土壤成分檢測、氣體檢測、工業、石油業等。