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H20-UVL真空紫外光譜儀

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天津東方科捷科技有限公司

法國

產品規格型號
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面議

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779

產品介紹

產品簡介

H20-UVL真空紫外單色儀在真空環境下覆蓋100-400nm3-12.4eV),在大氣環境下覆蓋190nm-400nm3-6.5eV)。結合真空紫外光源和蝸輪驅動實現快速精確的光譜掃描,可作為一個優異的真空紫外單色光源使用。在分辨率要求不高的情況下,配備單通道探測器,H20-UVL還是一個高性價比的真空紫外光譜分析系統。技術特點 單片式光學結構確保光通量**化,高光學穩定性 配備4型消像差單色儀光柵,全光譜范圍線色散均勻 全自動蝸輪高速驅動光柵 光柵表面鍍氟化鎂膜,優化120nm以上波長的輸出

典型應用 透射反射測量 熒光激發 可調濾波/光源 激光諧波濾波技術指標

光學設計

HJY**的4型消像差單色儀光柵

焦長

200 mm

孔徑

f/4.2

刻線密度

1200 gr/mm

光學鍍膜

針對121nm優化的MgF2

偏轉角

64°

色散

100nm3.6 nm/mm

驅動

高速蝸輪驅動

*小步進

0.06 nm

速度

400 nm/s

精度

+/- 0.2 nm+/-0.06 nm (*)

可重復性

+/-0.06 nm

分辨率

優于0.5 nm (**)

高真空

10-5 mbar (***)

真空泵法蘭

DN40 KF

入射/出射接口

測微狹縫(10 um 2 mm)

入射/出射法蘭

DN25 KF

電腦接口

USB2.0

可選項

超高真空

10-9 mbar

狹縫高度調節器

2, 4, 6 mm

(*)使用我們固件中的軟件驅動矯正可以提高單色儀的精度

(**)使用寬10微米,高2mm的狹縫在121nm處測量

(***)H20-UVL不含真空泵和真空計

附件 前鏡腔,配備兩塊超環面鏡,實現光源和單色儀之間的光學匹配 后鏡腔,配備兩塊超環面鏡,實現單色儀和樣品室之間的光學匹配 樣品室,可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品 偏振插片 制冷機,*低至4K 真空泵

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H20-UVL真空紫外光譜儀

天津東方科捷科技有限公司

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