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ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

適用于q線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過的光學設計，實現了7000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間，大大有助于芯片處理張數的增大。適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過的光學設計，實現了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間，大大有助于芯片處理張數的增大。適用于q線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通的光學設計，實現了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長時間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進一步可大幅縮短曝光處理時間，大大有助于芯片處理張數的增大。