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臺面尺寸（mm）

37×37

65×65

90×90

行程（mm）

6

13

25

驅動方式

微分頭

精度（mm）

0.003

分辨率（mm）

0.002

*小刻度（mm）

0.01

驅動位置

中心

側面

中心

側面

中心

側面

中心

側面

負載（kg）

5

12

15

自重（kg）

0.5

0.5

0.7

0.7

0.7

0.7

0.9

0.9