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Newport溢出曝光輻射源92530

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森泉光電有限公司

美國

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產(chǎn)品介紹

溢出曝光輻射源,1000 W Hg(Xe),6 x 6 英寸,± 2.5°,350-450 nm

型號: 92530

技術(shù)參數(shù)

  • 燈類型
    Hg(Xe)
  • 燈功率
    1000 W
  • 輸出光束尺寸
    152 x 152 mm
  • 工作距離
    101 mm
  • 準直角
    ± 2.5°

產(chǎn)品介紹:

我們的 500 W 和 1000 W 全面曝光源涵蓋近紫外光 (350 - 450 nm)、中紫外光 (260 - 320 nm) 和深紫外光 (220 - 260 nm)。NUV 經(jīng)過專門設(shè)計,可曝光大部分光刻膠;MUV 用于聚合物交聯(lián)以及新型光刻膠;DUV 用于深紫外光研究。我們的照明器可輻照 2.13 x 2.13 到 10 x 10 英寸的樣品。

  • 高強度輸出

  • 強度分布均勻的大面積準直光束

  • 高效帶外抑制

  • 定時曝光

特征:

高亮照明光源燈箱

涂覆用于 NUV 的 AlSiO 或用于 MUV 和 DUV 系統(tǒng)的增強銠的高效橢圓形反射器,可收集高達 70% 的弧光燈輸出。在光通過專有設(shè)計的光束勻化器之后,45°初級二向色鏡對光進行反射。勻化器或光學(xué)積分器類似于復(fù)合蠅眼。它干擾弧光燈的非均勻輻照以產(chǎn)生多個發(fā)散光束。這些發(fā)散光束在準直透鏡處重疊,從而在工作平面上產(chǎn)生高度均勻的準直光束。堅固的電子分離式葉片快門系統(tǒng)位于勻化器后面。它由高精度和可重復(fù)的快門及快門電源組成。可以通過燈罩側(cè)板上的開關(guān)或通過 68955 手持式開關(guān)手動打開和關(guān)閉該系統(tǒng)。對于自動曝光控制器,我們提供 68951 型數(shù)字曝光控制器或 68945 型數(shù)字計時器。根據(jù)要求,還可以在燈罩上接線,從而通過計算機邏輯電平操作快門。

弧光燈選項

NUV 光源采用汞短弧光燈,這些光源包含精確含量的汞和氙或氬,用于充當初始氣體。通過紫外光波長和可見光波長的強汞線會影響其輸出光譜。365 nm 線使其非常適合用于 NUV。MUV 和 DUV 光源控制汞(氙)短弧燈,后者類似于汞燈,但除初始氣體外還包含氙氣。額外的氙氣增強了短波紫外線,使其成為 350 nm 以下應(yīng)用的理想選擇。我們提供具有 NUV 和 MUV 光源的無臭氧汞氙燈以及用于 DUV 型的紫外增強燈。上圖顯示了 6285 500 W 汞燈的典型輸出。

三個光譜范圍

照明光源的光譜輸出由燈類型、二向色鏡和準直透鏡確定。NUV 光源采用汞燈,使用BK7玻璃透鏡(不透射低于 350 nm 的光)并且具有相應(yīng)的二向色鏡。MUV 和 DUV 光源采用汞氙燈,使用紫外級熔融石英透鏡(透射低至 200 nm 的光)并具有相應(yīng)的二向色鏡。如果您需要在所有地區(qū)工作的靈活性,請選擇 DUV 光源并為相應(yīng)區(qū)域額外購買二向色鏡。

三個安全聯(lián)鎖系統(tǒng)

每個燈箱包含三個聯(lián)鎖系統(tǒng)。打開燈箱門將觸發(fā)電子聯(lián)鎖開關(guān),從而自動中斷系統(tǒng)電源。這可以防止操作員意外接觸燈。如果溫度超過安全操作水平,則熱防護聯(lián)鎖會關(guān)閉系統(tǒng)。如果燈的冷卻風(fēng)扇發(fā)生故障,則第三個聯(lián)鎖將關(guān)閉系統(tǒng)。

軟啟動點火器

我們的 500W 汞 NUV 燈罩包含內(nèi)置的“軟啟動”點火器。這種點火器專為汞燈設(shè)計,可提供高壓斜坡,從而實現(xiàn)可靠的低壓力點火。結(jié)果是可忽略的電磁干擾。500 和 1000 W 汞(氙)燈罩包含一個高壓點火器,這是點燃這種燈類型所必需的。這些點火器在燈電極上施加高電壓 (25 kV) 脈沖放電。靠近燈會減小脈沖必須行進的路徑長度,從而有利于點火和減少電磁干擾。

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Newport溢出曝光輻射源92530

森泉光電有限公司

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