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Nwport高性能中檔行程線性平移臺

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森泉光電有限公司

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產品介紹

高性能中檔行程線性平移臺

產品介紹:

ILS 系列是堅固耐用的亞微米分辨率線性平移臺,采用輕巧、堅硬的鋁制機身和可靠的組件,適用于高占空比的應用。

  • 剛性,FEM 優化的擠壓鋁制機身,可防止熱彎曲效應

  • 預加載,無間隙滾珠絲杠傳動可實現快速移動,步進時間和穩定時間較短

  • 精密循環滾珠軸承滑塊可實現精確的線性運動,防止出現滾珠軸承罩移位

  • 50-250mm 的行程

  • 輕工業應用中長期使用的理想選擇

  • 即插即用 - ESP 兼容

技術參數:

型號ILS50CC

ILS150CC

行程范圍50 mm150 mm
* da速度 1100 mm/s100 mm/s
*小位移增量1000 nm1000 nm
中心負載250 N250 N
軸向負載 (+Cx)40 N40 N
逆軸向負載 (-Cx)-40 N-40 N
精度,典型值±0.6 μm±1.5 μm
精度,保證值±1.5 μm±2.5 μm
單向重復精度,典型值±0.20 μm±0.25 μm
單向重復精度,保證值±0.50 μm±0.50 μm
雙向重復精度,典型值±0.40 μm±0.45 μm
雙向重復精度,保證值±1.0 μm±1.0 μm
俯仰,典型值±15 μrad±37 μrad
俯仰,保證值±25 μrad±75 μrad
俯仰順應性10 μrad/Nm10 μrad/Nm
偏擺,典型值±12 μrad±20 μrad
偏擺,保證值±25 μrad±65 μrad
偏擺順應性10 μrad/Nm10 μrad/Nm
滾轉順應性15 μrad/Nm15 μrad/Nm
原點重復精度±0.5 μm±0.5 μm
電纜長度3 m3 m
螺紋類型 21/4-201/4-20
重量4.2 kg4.8 kg
MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHSCompliantCompliant
Notes:

Also available in ILS-CCL versions.

  1. Max speed is reduced to 50mm/sec for ILS-CCL versions

  2. Also available in a metric M- version.

產品特征:

FEM - 優化的鋁制機身

優化的鋁制機身可實現極高的剛性,以及在不影響重量的情況下*小化雙金屬彎曲。堅固的機身減少了負載下的偏移。

集成編碼器

4000 pts/rev 的編碼器直接安裝在螺桿上,這樣可防止出現螺桿/電機耦合誤差,從而提高平移臺運動精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成線性標度。

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Nwport高性能中檔行程線性平移臺

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