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AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高，配備4英寸自動馬達(dá)臺的全自動型原子力顯微鏡。設(shè)備在懸臂更換，激光對中，測試參數(shù)設(shè)置等環(huán)節(jié)上提供全自動操作平臺。新開發(fā)的高精度掃描器和低噪音3軸感應(yīng)器使測量精度大幅提高。并且，通過SEM-AFM共享坐標(biāo)樣品臺可輕松實(shí)現(xiàn)同一視野的相互觀察分析。

特點(diǎn)

1. 自動化功能

高度集成自動化功能追求高效率檢測，降低檢測中的人為操作誤差

2. 可靠性

排除機(jī)械原因造成的誤差，大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運(yùn)動所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運(yùn)動的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。

AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器，可實(shí)現(xiàn)不受圓弧運(yùn)動影響的準(zhǔn)確測試。

高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。

AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。