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硅片厚度測(cè)量儀SIT-200

硅片厚度測(cè)量儀（SIT-200）由精確可調(diào)激光光源，聚焦傳感器，光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標(biāo)上，由目標(biāo)表面和背面反射光干涉形成干涉圖案，經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測(cè)器進(jìn)行檢測(cè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

l 全光學(xué)，非接觸硅片厚度測(cè)試

l 高動(dòng)態(tài)范圍測(cè)量粗糙表面

l 濕法刻蝕過程中實(shí)時(shí)測(cè)量

高靈敏度高精度快速測(cè)量遠(yuǎn)程控制

結(jié)構(gòu)示意圖

SIT-200

產(chǎn)品參數(shù)：