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Phasics SID4-UVHR波前傳感器

直接聯系

上海屹持光電技術有限公司

法國

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

485

產品介紹

Phasics利用其四波橫向剪切干涉技術,在紫外波前測量提供了較好的解決方案。它有非常高空間分辨率(250x250測量點)和在190-400nm范圍具有高靈敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完全適用于光學元件的特性(用于光刻技術、半導體…)和表面檢查(透鏡和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地適應各種實驗條件。

SID4-UVHR 光學器件測量自適應光學

特點:

由于其獨特的**技術技術,PhasicsSID4-UVHR波前傳感器具備以下特點:

1.超高分辨率:250x250測量點

2.高靈敏度:0.5nm

3.通光孔徑大8*8mm

4.直接測量:光學元件和表面質量

應用:

SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應用:

紫外激光器:光束測試與校正

光學測量:UV光學測試(半導體…)和表面測量

SID4-UVHR產品參數:

波長范圍

190 - 400 nm

通光孔徑

8 x 8 mm2

空間分辨率

32 μm

采樣點(相位/強度)

250 x 250 (> 62 500 points)

相位相對靈敏度

0.5 nm RMS

相位精度

10 nm RMS

動態范圍

~

采樣頻率

> 30 fps

實時分析頻率

1 fps (full resolution)

數據接口

Giga Ethernet

尺寸(w x h x l)

95 x 105 x 184 mm

重量

~900 g

產品咨詢

Phasics SID4-UVHR波前傳感器

上海屹持光電技術有限公司

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