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主動式防震臺+HERZ+AVI600

為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機，微納米結構和加工儀器提供主動隔振系統！

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統，是納米技術大型儀器隔振的**解決方案。對升級和整合到現有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數量可以增大系統的承重（**承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何科研環境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路消除隔振系統的機械共振。

產品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

• 被動隔振頻率>200Hz

• 5-20ms的響應時間

• 安裝簡單，容易使用

• 穩定性高，能無故障連續使用多年

• 緊湊、模塊化的多功能設計

產品應用

• SEM 、TEM

• UHV-SPM 光刻

• 隧道顯微鏡

• Fabry-Perot干涉儀

• 大型對振動敏感的儀器設備

性能優勢

• 系統主動檢測輸入振動并動態消除

• 六個空間方向的自由隔振

• 系統內部反饋回路抑制所有機械共振

• 低頻隔振性能優秀

• 無低頻共振、無空氣要求

技術參數：

兼容性：

AVI-600 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

主動隔振，主動減振，主動除振，主動防振系統。為各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡。白光干涉儀，光刻機，微納米結構和加工儀器！超低頻隔震臺、防震臺、減震臺、除震臺。