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高分辨紫外波前傳感器

PHASICS公司將SID4產(chǎn)品系列擴展到UV波長。集合了PHASICS所有先進技術(shù)(4波橫向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光譜范圍為190到400 nm。

采樣分辨率為250 x 250個測量點適合用于測量光學(xué)器件(可用于光刻、半導(dǎo)體等)和表面檢查(例如晶片檢驗)。

有高靈敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的檢測高分辨率紫外解決方案。

主要特點

• 高分辨率(250 x 250)

• 大孔徑(8，0 mm x 8，0 mm)

• 覆蓋UV光譜

• 高靈敏度(0，5 nm)

• 優(yōu)化信噪比

• 適用于光學(xué)測量

參數(shù)