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勞厄單晶取向測試系統

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先鋒科技(香港)股份有限公司

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產品介紹

勞厄單晶取向測試系統

  • 背散射勞厄測試系統,實時確定晶體方向,精度高達0.1度;

  • PSEL 軟件定向誤差低至 0.05度;

  • 多晶硅片二維定向mapping;

  • 大批量樣品篩選;

  • 超20kg重負荷樣品定位

水平放置系統

特征

優點

<200um 光束尺寸

可測量小 晶體

電動位移臺

可沿生長軸軸向掃描

電動角位移

與同步加速器/中子設備直接兼容

手動角位移

與切割刀具直接兼容

垂直放置系統

特征

優點

<200um 光斑

適用于小晶粒的多晶結構

大范圍電動線性掃描位移臺

允許自動晶圓mapping或多個樣品

電動Z 軸驅動

適用大尺寸晶棒或樣品

手動角位移

允許定位到+/- 0.02度精度

配備PSEL CCD 背反射勞厄X-RAY 探測器

  • 有效輸入探測面約: 155*105 mm

  • *小輸入有效像素尺寸83um,1867*1265 像素陣列

  • 可選曝光時間從1ms 到35分鐘

  • 芯片上像素疊加允許以犧牲分辨率為代價增強靈敏度

  • 自動背景扣除模式

  • 16位高精度采集模式

  • 12位快速預覽模式

  • PSEL 勞厄影像采集處理專業軟件

勞厄影像校準軟件:

  • 自動檢測衍射斑點,并根據參考晶體計算斑點位置;

  • 根據測角儀和晶體軸自動計算定向誤差(不需要手動擬合扭曲的圖形)

  • 以CSV格式保存角度測量值,以進一步保證質量的可追溯性;

  • 頂部到底部的終端用戶菜單,允許資深結晶學用戶自行逐步確認定位程序;

  • 基于Python的軟件,允許使用套接字命令對現有軟件/系統進行遠程訪問控制;

系統附件包括

  • 勞厄X-RAY 探測器

  • 勞厄校準軟件

  • 高亮度X-RAY 發生器

  • 電動/手動 角位移臺& 高精度位移臺;

  • 樣本定位/視頻監控 攝像頭;

  • 激光距離傳感器/操縱桿

典型勞厄衍射應用圖樣:

勞厄單晶取向測試系統應用方向:

  • 探測器材料: HgCdTe/CdTe, InGaAs, InSb;

  • 窗口玻璃材料&壓電/鐵電陶瓷: Al2O3, Quantz,LiNbO3

  • 金屬合金: 鎢,鉬,鎳基合金;

  • 激光晶體材料: YAG, KTP, GaAs

  • 薄膜/半導體基地材料: AIN, InP SiC;

  • 磁性&超導材料: BCO/BSCCO/HBCCO, FeSe, NbSn/NbTi

  • 閃爍體材料: BGO/LYSO, CdWO4, BaF2/CaF2;

產品咨詢

勞厄單晶取向測試系統

先鋒科技(香港)股份有限公司

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