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等離子體監控系統

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杭州譜鐳光電技術有限公司

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等離子體監控系統

PlasCalc 等離子體監測控制儀,實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量,通過高級過程控制系統及精密數據存取算法,只需3ms就可以獲得測量結果。

特點

1、光學分辨率1.0nm(FWHM)

2、光譜范圍 200-1100nm

3、快速的建模及存儲實驗方法

Recipe編輯器

Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監測、表面潔度監測、等離子體室控制及異常污染、排放監測等,能夠快速簡單的構建模塊過程控制。

多種工具用于等離子體診斷

隨PlasCalc配置的操作軟件,集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能。可選的波長發生器(可以單獨購買)用于類型確認,而波長編輯器可以用于優化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。

PlasCalc 配置說明

光譜范圍: 200-1100 nm
光學分辨率: 1.0 nm (FWHM)
D/A 轉換: 14 bit
數字I/O: 8 x TTL
模擬輸出: 4 x [0-10V]
接口: USB 1.1
功耗: 12 VDC @ 1.25 A

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