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普發真空HiPace®10渦輪分子泵

直接聯系

普發真空技術(上海)有限公司

德國

產品規格型號
參考報價:

面議

關注度:

1296

產品介紹

  • 穩健性工業設計(Robust Design)和經過實踐證明的高可靠性軸承系統。

  • 緊湊型結構以滿足更小的物理空間安裝需求。

  • 高氣流量和高抽速。

  • 可任意角度安裝。

  • 防護等級IP54符合工業環境應用要求。

  • 可應用于腐蝕性氣體工況。

  • SEMI S2 和 UL認證。

  • 完整的配件系統擴展了潛在客戶的需求。

  • 更長時間維護保養時間。

  • 可現場更換軸承。

Bearing

軸承

Ball bearing 球軸承

Compression ratio for Ar

氬氣壓縮比

2.5 · 107

Compression ratio for H2

氫氣壓縮比

3 · 102

Compression ratio for He

氦氣壓縮比

3 · 103

Compression ratio for N2

氮其壓縮比

3 · 106

Cooling method, standard

冷卻方式,標準

Convection 對流

Electronic drive unit

控制器

with TC 110

Flange (in)

法蘭(進氣

DN 25

Flange (out)

法蘭(出氣)

DN 16 ISO-KF / G 1/8"

Fore-vacuum max. for N2

氮氣**前級真空

25 hPa | 18.75 Torr | 25 mbar

Gas throughput at full rotational speed for Ar

氬氣全轉速時的氣流量

0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s

Gas throughput at full rotational speed for H2

氫氣全轉速時的氣流量

2.78 hPa l/s | 2.08 Torr l/s | 2.78 mbar l/s

Gas throughput at full rotational speed for He

氦氣全轉速時的氣流量

0.48 hPa l/s | 0.36 Torr l/s | 0.48 mbar l/s

Gas throughput at full rotational speed for N2

氮氣全轉速時的氣流量

0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s

Interfaces

接口

RS-485, Remote

Mounting orientation

安裝方向

in any orientation 任意方向

Operating voltage

運行電壓

24 (± 5 %) V DC

Particulate matter

顆粒物

yes

Permissible magnetic field max.

容許的**磁場

3 mT

Protection category

防腐等級

IP 54

Pumping speed for Ar

氬氣抽速

11.5 l/s

Pumping speed for H2

氫氣抽速

3.7 l/s

Pumping speed for He

氦氣抽速

6 l/s

Pumping speed for N2

氮氣抽速

10 l/s

Rotation speed ± 2 %

旋轉速度 ± 2 %

90000 min-1

Rotation speed variable

可變旋轉速度

50-100 %

Run-up time

啟動時間

0.9 min

Sound pressure level

聲壓級

< 50 dB (A)

Ultimate pressure according to PNEUROP

根據PNEUROP的極限壓力

< 5 · 10-5 hPa |< 3.75 · 10-5 Torr |< 5 · 10-5 mbar

Weight

重量

1.8 kg | 3.97 lb

Pfeiffer vacuum渦輪分子泵 Hipace10尺寸

Pfeiffer vacuum渦輪分子泵Hipace10抽速

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普發真空HiPace®10渦輪分子泵

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