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金鎧儀器CVD反應(yīng)裝置

直接聯(lián)系

金鎧儀器（大連）有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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關(guān)注度：

815

產(chǎn)品介紹

裝置概述

本裝置是CVD反應(yīng)裝置，擁有四個(gè)氣路，兩套獨(dú)立的氣路控制單元，加熱爐安裝在裝置的側(cè)面上下安裝，精密的儀表控制加熱爐爐溫和氣體流量，具有可靠性高，操作簡(jiǎn)便，結(jié)構(gòu)緊湊的特點(diǎn)。該裝置可用于化學(xué)沉積及與CVD特點(diǎn)相似的材料制備過(guò)程。

技術(shù)參數(shù)

-　氣路：1-4（任選）；

-　加熱爐：1-2（任選），加熱爐溫度Max：1000 ℃

-　氣體質(zhì)量流量器：0 - 500 mL/min（任選）；

-　工作壓力：常壓；

-　溫度控制：± 0.5 ℃；

-　計(jì)算機(jī)控制（任選）。

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金鎧儀器CVD反應(yīng)裝置

金鎧儀器（大連）有限公司

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