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1、機臺采用進口勞士領板材，長期可工作在酸腐蝕環境，堅固耐用，雙層防漏 。

2、采用SC1，SC2對芯片表面有機和無機物的有效處理工藝設備，可清洗4“，5”，6“硅片。

3、可設計手動全自動運行設計，全自動運行方式采用兩只機械手運行，更有效提高效率降低成本。

4、清洗能力：4~6寸圓片，25片2籃/批

5、全方面的警報提示功能，防呆設計功能。

6、各工藝槽模組化設計，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統一的承漏底盤中。腐蝕槽設計底部排風，降低排風量。