接觸電阻率測量儀 TLM

這款緊湊型儀器測量成品太陽能電池的接觸電阻率，手指線電阻，手指寬度和手指高度，或者測試結構。

通過在所有軸上電動化，可以通過按一個按鈕來創建所有這些方法的地圖。

用于測量薄擴散層的薄層電阻和晶圓電阻率的四點探頭，使得TLM-SCAN 成為一種低成本，快速，高質量的四點探針貼圖儀。

使操作更簡單的功能：

自動位置校正以獲得**接觸質量

蓋子關閉時自動啟動

自動采樣編號

軟件探頭識別

精確的導航與歡樂棒和顯微鏡相機

通過點擊圖像來探測定位和重新測量單點

一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式

序列模式通過按一個按鈕來測量接觸電阻率和手指幾何圖形的映射

TLM-SCAN+

接觸電阻率測量及更多

方法：

接觸電阻率

手指線電阻率

手指寬度與顯微鏡

與表面輪廓儀的手指高度

采用四點探針的晶圓電阻率

帶四點探頭的薄層電阻

強調：

可調TLM探頭

覆蓋整個太陽能電池

查克14條帶獨立真空條紋

TLM-SCAN

接觸電阻率映射

采用合適的測試結構的傳輸長度方法是測量前端金屬化接觸電阻的*準確方法。然而，接觸電阻可能在太陽能電池上顯著變化，使得在成品太陽能電池上測量它的空間分辨方法是必要的。 TLM-SCAN創建了用激光或切割鋸切割成條紋的太陽能電池的接觸電阻率的映射。

特別決議：

所有結果在整個太陽能電池上的映射

單指分辨率

快速：

在一秒內測量8個針對之間的所有組合。

使用方便：

出色的重復性：在同一條紋上測量接觸電阻14次。

mWcm2

靈活：

• 用于傳統TLM測試圖案和成品太陽能電池以及線路電阻的各種探頭。

• 與其他測量結合使用

• 支持選擇性發射器

精確：

• 分辨率通常為0.2mWcm2

• 報道了不確定性值

• 更正分流

• 正確解釋中間手指

• 針檢查無視四線接觸設置無效的手指

• 沒有光線相關的文物

• 沒有連接到繼電器矩陣的可靠性問題

• 在幾秒內更換探頭

• 存儲在配方中的所有設置

• 自動位置校正以獲得**接觸質量

• 蓋子關閉時自動啟動

• 探頭由軟件識別

• 一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式

以激情設計：

• 點擊圖像定位和重新測量單點

• 精確的游戲桿位置控制

• 機器上的功能按鈕和自動編號可以在不觸碰PC的情況下進行操作

• 評估并重新評估其他PC上的數據庫測量結果