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產品信息

主要特點

• 檢出靈敏度：10-13-100Pa m3/s (He)

• **的BG恢復性能和操作性

• 大屏幕液晶顯示面板，操作簡單

• 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲（內置兩根）

• 搭載大排量的粗抽真空泵，提高了作為通用機應具備的穩定性和可靠性

• 對大泄漏工件也可以進行檢漏測試

應用領域

• 半導體和平板顯示器制造

• LED制造

• 鍍膜設備

• 制冷設備和空調的元件及部件

• 低溫壓力容器

• 閥門氣密性

• 撿漏航空部件，配件及系統