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RTP-100-RP快速退火爐(中溫/低價(jià)位)

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上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

德國(guó)

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產(chǎn)品介紹

快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備。

RSO-200快速退火爐可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用，適用于樣品尺寸大、但是退火溫度不太高的樣品。

儀器特點(diǎn)：

- **工藝溫度：650攝氏度；

- 加熱區(qū)域：200mm x 170mm；

- 高性價(jià)比；

參考用戶：

中電13所等。

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RTP-100-RP快速退火爐(中溫/低價(jià)位)

上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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