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采用自主開發的全新一代智能全閉環控制系統，實現高精度的厚度、動態壓力等測量!采用高精度位移傳感器，測量**精度達到+0.01mm，*小分辨率0.5um;

利用智能氣動控制，移動速度、壓力可以調節設置;

測量可實現動態保壓功能，**壓力控制精度: 1.5kgf (0.3%FS)

采用超厚模架設計及大理石支撐板，確保測量過程及溫度變化不形變;

設備完整意義上的一體化，單輸入控制窗口，避免不同界面之間的復雜操作，控制簡單，6采用自主開發控制系統，避免傳統測量方法的超壓和誤差過大，**效率可達6ppm;