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開關電源等離子處理設備：誠峰智造

真空式等離子處理系統CRF-VPO-MC-6L

名稱（Name）

真空式等離子處理系統

型號（Model）

CRF-VPO-MC-6L

控制系統（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,12.5kw

中頻電源功率（MF Power）

2000W/40kHz

容量（Volume）

235L（Option）

層數（Electrode of plies）

6（Option）

有效處理面積（Area）

500（L）*500（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2

產品特點：處理空間大，提升處理產能，采用PLC+觸摸屏控制系統，有效控制設備運行。

可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數，滿足客戶的需求。

保養維修成本低，便于客戶成本控制。

高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持。

應用范圍：主要適用于生物醫療行業，印制線路板行業，半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等。

半導體真空電漿清洗機是一種先進的高科技設備，是利用等離子體進行清洗活化改性蝕刻，提高附著力等作用的設備，在使用時，一定要按照說明書的要求進行操作，其中有些使用方法都有哪些知識也需要了解，今天就給大家具體介紹一下。

在半導體真空電漿清洗機抽真空作業時，一定要使三通閥指向閉合狀態，也就是說，讓箭頭向下，然后打開真空泵的電源，看看真空泵的旋轉方向是順時針還是逆時針，如果是順時針，則正常，在檢測完畢后，再將電源關閉。

在啟動真空泵前，確保真空電漿清洗機與真空泵連接，此時等離子處于閉合狀態，啟動后等離子艙將產生發光。

在抽氣時，要將三通閥打開，使之與室內空氣相通，然后在將針形閥打開時，注意要輕柔地打開，讓空氣慢慢進入真空電漿清洗機機艙內，形成等離子體，然后再將前部的控制面板的電源打開。

在進行等離子體處理時，要根據所需時間處理好樣品，處理完成后，在RF中關閉，清洗完畢。

用半導體真空電漿清洗機時，可參照以上內容進行，只有操作正確，才不會發生故障，另外，在切斷電源后，還要檢查等離子清洗機后電源邊緣保險箱內的保險管是否正常，有無燒斷的痕跡，如果有損壞，一定要更換新的匹配的保險管。