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主要用于硅片、石英、陶瓷、玻璃、晶體、石英晶體等泛半導(dǎo)體材料雙面高精密研磨與拋光。

性能優(yōu)勢

研磨過程全自動(dòng)控制；

工藝過程平穩(wěn)運(yùn)行；

采用觸摸屏，操作方便；

有限元分析設(shè)計(jì)，受力均勻，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定；

自主操作系統(tǒng)，操作簡單，易學(xué)易懂；

自潤滑系統(tǒng)，自動(dòng)給油，長期免維護(hù)；

豐富選配，適用多種材料加工模式。 

雙面研磨/拋光機(jī) 

型號(hào) HDL/HDP-22B 

設(shè)備尺寸 W3800 x D3300 x H3600mm 

設(shè)備重量 約11T 

加工能力 直徑（或?qū)蔷€尺寸） ?25~480mm 

厚度 0.3 ~ 50mm 

支持系統(tǒng) 電源容量 Max. 35kW 

電源電壓 AC380V, 3P 

壓縮空氣（供給壓力） 0.6 MPa以上 

定盤 主電機(jī) 15kW(3 電機(jī))，11kW+7.5kW(4 電機(jī)) 

定盤尺寸 Φ1460 x 484 x 50mm（研磨機(jī)） 

Φ1488 x 456 x 55mm（拋光機(jī)） 

游星輪/ 載體 尺寸 齒數(shù)Z=184, 模數(shù) M=3, 分度圓直徑552mm 

數(shù)量 5