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羅茨螺桿機(jī)組是由羅茨真空泵作為主抽泵，螺桿真空泵作為前級泵組成的羅茨螺桿真空機(jī)組，該機(jī)組比單臺的螺桿真空泵更適合于在低壓下工作。

該機(jī)組的設(shè)計(jì)因?yàn)椴辉偈褂妹芊庖夯虼罅康恼婵沼停瑥亩鴾p輕環(huán)境污染；干式螺桿泵工作時(shí)，相互之間無摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸氣及少量粉塵的氣體場合。由于螺桿制成變螺距結(jié)構(gòu)，被抽氣體再工作腔內(nèi)有壓縮，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空度更高，而消耗功率更低，具有節(jié)能、免維修等優(yōu)點(diǎn)，也是油式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。