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設備特點與技術指標

　　真空獲得為復合分子泵+機械泵，設備真空度在分子泵啟動到400HZ后優于3*10-3pa;30分鐘

　　以內優于5*10-4pa;極限真空3*10-5pa。

　　機組為可移位臺式小車結構，能夠滿足不同位置排氣的需要。

　　機組配備預抽排氣系統，可在分子泵不停止的狀態下實現換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了        排氣時間，有效提高了工作效率。

 機組配置：

　　600升(300升)水冷(風冷)復合分子泵1臺。

　　北儀優成TRP-12機械泵1臺。

　　40角閥一套。

　　高真空復合真空計1套。(包括CF35電離規、KF16熱偶規)

　　直徑150mm*高200mm真空室1套。

　　帶腳輪、圍板及不銹鋼臺面的小車1套。