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主要技術指標

◆X射線管：銅靶，陽極接地，強制風冷

◆管電流：0～4mA，連續可調

◆管電壓：30KVP

◆整機功率：不大于2KW

◆控制方式：計算機

◆射線窗口控制：電動光閘

◆測量精度：±15″

◆射線管和探測器運動方式：計算機控制聯動或單動

◆探測器電壓：閃爍探測器500V～1100V

◆可測晶棒重量：20Kg

◆可測晶棒、晶片直徑：2～8英寸

◆可測**長度：400mm

◆整機外形尺寸：1020×950×1900(mm)

◆重量：350Kg