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主要技術(shù)指標(biāo)、

射頻發(fā)生器

（1）電路類型：電容三點(diǎn)式自激震蕩電路。

（2）工作頻率：40.68MHz±0.05％

（3）頻率穩(wěn)定性：＜0.1％

（4）輸出功率800-1200W

（5）輸出功率穩(wěn)定性≤0.3％

（6）電磁場(chǎng)泄露強(qiáng)度：距機(jī)身30cm 電場(chǎng)強(qiáng)度E:＜2V/m

進(jìn)樣裝置

（1）輸出工作線圈內(nèi)徑25mm.3匝

（2）矩管：三同心型.外徑20mm的石英管

（3）同軸性噴霧器外徑6mm

（4）雙筒型霧外徑34mm

（5）氬氣流量量計(jì)規(guī)則：

①等離子氣流量計(jì)（100-1000)L/h (1.6-16L/min)

②輔助氣流量計(jì)（10-100）L/h (0.16-1.66L/min)

③載氣流量采用質(zhì)量流量計(jì) 由計(jì)算機(jī)控制（0-5L/min)

(6)掃描波長(zhǎng)范圍：3600線/mm

掃描波長(zhǎng)范圍:195-500nm

2400線/mm

掃描波長(zhǎng)范圍:195-800nm

(7)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)*小步距：0.0006nm

(8)出射、入射狹縫：20um

(9)反射鏡規(guī)格：（78×105×16）mm

(10)透鏡：1:1成像

(11)分光器恒溫裝置：32℃±1℃

測(cè)光裝置

(1)光電倍增管規(guī)格R212UH或R928

(2)光電倍增管負(fù)高壓：200-1000V，穩(wěn)定性：＜0.05％

(3)光電倍增管電流測(cè)量范圍：10-4~10-9A

(4)信號(hào)采集為V/F交換:1mV對(duì)應(yīng)100Hz