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儀器簡介：

VEGA 3 XMU/XMH是TESCAN推出的鎢燈絲掃描電子顯微鏡系列中樣品室**的一款電鏡,以高品質(zhì),完全計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的**設(shè)計(jì).
 1.獨(dú)有的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics™）和Tescan特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)，提供了多種工作模式和顯示模式。
 2.成像速度快。
 3.鏡筒內(nèi)沒有需要機(jī)械對中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌。
 4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉(zhuǎn)換器”的作用。
 5.高吞吐量/自動(dòng)取域。例：自動(dòng)顆粒定點(diǎn)分析。
 6.出眾的電動(dòng)載臺設(shè)計(jì)，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
 7.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械真空泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
 8.完善的顯微鏡自動(dòng)設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對中。
 9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。
 10.強(qiáng)大的自動(dòng)功能:全自動(dòng)真空控制,燈絲自動(dòng)加熱,自動(dòng)電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動(dòng)補(bǔ)償偏壓,改變電子束大小，
 自動(dòng)調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號/噪聲比自動(dòng)調(diào)整掃描速度,自動(dòng)對比/亮度調(diào)整,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)調(diào)整像差等。
 11.完全自動(dòng)的軟件安裝.
 12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用專業(yè)的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
 I.影像顯示尺寸
 1)實(shí)時(shí)圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
 2)儲存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9種方式。
 3)同時(shí)可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
 4)可同時(shí)顯示任意張實(shí)時(shí)影像或儲存影像。
 II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級式或連續(xù)式的調(diào)整。
 III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
 IV.動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描
 V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)