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適用范圍：

精密光學玻璃，藍寶石襯底片，藍寶石窗口片，鈮酸鋰，鉭酸鋰，氧化鋁陶瓷基板，氮化鋁陶瓷基板，氧化鋯陶瓷，精密五金，3C，砷化鎵，氮化鎵，磷化銦，鍺片，硅單晶襯底片，碳化硅晶片等元件的研磨拋光。