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1、所有管件采用316L不銹鋼,內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光,Ra≦0.25微米;
2、閥門有美國(guó)世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國(guó)TK隔膜閥供選擇;
3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片;
4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;
5、可盛裝化學(xué)品純度≧99.9995;
6、總殘余元素量≦50PPb;
7、墜落試驗(yàn),通過(guò)國(guó)家商檢部門檢測(cè);
8、介質(zhì),TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;
9、可選擇氣動(dòng)閥門或者實(shí)現(xiàn)在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等;
10、可提供非標(biāo)定做。
源瓶(起泡器)用于固態(tài)、液態(tài)及氣態(tài)超純物料類的封裝,涉及微正壓、常壓、中低壓的危險(xiǎn)化學(xué)品,所以對(duì)源瓶的安全性和潔凈度提出嚴(yán)苛的要求。
源瓶特點(diǎn):
1、所有管件采用316L不銹鋼,內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光,Ra≦0.25微米;
2、閥門有美國(guó)世偉洛克球閥和隔膜閥、日本富士金隔膜閥和韓國(guó)TK隔膜閥供選擇;
3、密封墊片選用純銀鍍鎳墊片;
4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;
5、可盛裝化學(xué)品純度≧99.9995;
6、總殘余元素量≦50PPb;
7、墜落試驗(yàn),通過(guò)國(guó)家商檢部門檢測(cè);
8、介質(zhì),TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;
9、可選擇氣動(dòng)閥門或者實(shí)現(xiàn)在注入端子、輸出端子以及接口之間的交叉清掃處理等;
10、可提供非標(biāo)定做。
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