晶體重量 kg

80

160

200

工作環境

真空

加熱方式

電阻式

電壓 V

3相380

總功率 KW

110

**溫度 ℃

2000

主軸行程 mm

700

500

主軸提速（低速）mm/h

0.1-5.0

主軸提速（高速）mm/h

2-200

主軸轉速 rpm

0.1-10

腔體容量 L

780

980

1400

外形尺寸

150×160×380

150×160×400

200×210×450