粉體行業在線展覽
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擴散氧化爐（科研型）
直接聯系
湖南艾科威半導體裝備有限公司
湖南
面議
艾科威
擴散氧化爐（科研型）
1055
技術指標
●適用晶片尺寸 ： 2~8英寸圓片
●工作溫度： 600℃～1300℃；
●可配工藝管數量：1~2管/臺
●恒溫區長度及精度：≤±0.5℃/300~600mm （800℃～1300℃），
● 單點溫度穩定性：≤±0.5℃℃ /24h （1100℃）；
●溫度斜變能力：**升溫速率20℃/min，**降溫速率5℃/min；
