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技術(shù)參數(shù)： 1.設(shè)備型號：VIF-1 2.**溫度：1800℃ 3.冷態(tài)極限真空度：5×10 -4 Pa（分子泵機(jī)組） 冷態(tài)極限真空度：5×10 -3 Pa（擴(kuò)散泵機(jī)組） 4.充氣壓力：≤0.05MPa 5.升壓率：小于 4Pa/h 6.爐體：雙層水冷結(jié)構(gòu)、304 不銹鋼材質(zhì)。 7.復(fù)合真空計型號：ZDR-III 8.復(fù)合真空計測量范圍：1.0×10 ? 5 ～1.0×10 5 9.前級機(jī)械泵型號：BSV30 10.前級機(jī)械泵抽速：8L/S 11.擴(kuò)散泵型號：TK150 12.擴(kuò)散泵抽速：1000L/S 13.分子泵型號：FJ620（選購） 14.分子泵抽速：600L/S