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C/C復合材料大型沉積爐

用途：

可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

特點

化學氣相沉積爐主要配置

結構形式：臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門：絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

爐殼：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈

加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

工藝氣路系統：體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

真空泵和真空計---進口/國產

人機界面：觸摸屏/工控機