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DRX-95型下降爐

DRX-95型下降爐

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星特亮科技有限公司

江蘇

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

星特亮科技

型號:

DRX-95型下降爐

關注度:

749

產品介紹

DRX-95型下降爐主要技術參數與性能描述

主要技術參數:

序號

名   稱

參   數

備  注

1

加熱功率

3x5kW

3段式加熱

2

**加熱溫度

1200℃


3

工作腔尺寸

Φ950x1600


4

坩堝軸行程

480


5

坩堝升降速度

慢速:0.01-2mm/h

快速:≥200mm/min


6

生長晶體數量

8″-10″---1根

5″-7″----4根

3″-4″----6根

根據用戶要求而定

7

冷爐真空度

1Pa


8

控溫精度

≤±0.1℃


9

主機占空面積

3000×4000×5000

長×寬×高

 

性能描述:

1, 觸摸屏+PLC控制;科學合理、穩定可靠的工藝熱場是生長高質量晶體材料的關鍵條件;

2, 3段加熱分別有歐陸控溫儀控制;

3, 溫度/下降速度/位移等多種工藝參數/工藝曲線存儲;

4, 溫度梯度設置范圍:橫向梯度  ≤0.5℃/cm

縱向溫度梯度:5℃--30℃/cm可設置

5, 密閉環境下的坩堝下降設備——采用密閉腔體(真空或氣氛條件)多坩堝下降法晶體生長技術,兼顧了密閉環境(真空或氣氛條件)環境和坩堝下降法的優點,有利于穩定熱場,確保生長出高質量的晶體,防止原料氧化和水解對性能的危害,同時也可防止組分在高溫下的揮發和泄露,避免環境污染;

6, 多坩堝公轉自轉技術——保證每只坩堝受熱均勻,溫度一致,晶體質量均衡;

7, 節能環保——加熱器采用多段式加熱方式,可根據不同工藝要求精確控制各段加熱器,在消耗*低電能的情況下獲得理想工藝條件下;同時,采用密閉的工作腔,不但有利于晶體生長工藝參數的精準獲得,有利于工藝氣體的有序流動,更有利于廢氣的集中排放和處理。

8, 爐底與坩堝運動系統同步升降,在保證坩堝位置精度、運動精度的同時,方便在設備底部裝卸料。

9, 爐蓋可以升起旋轉開,便于安裝、調整熱場。


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