粉體行業(yè)在線展覽
磷化銦多晶合成爐
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育豪微電子
磷化銦多晶合成爐
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 手動(dòng) |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-6寸 |
4 | 適用工藝 | 多晶合成 |
5 | 工藝溫度范圍 | 800-1250℃ |
6 | 恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 300-800mm |
7 | 控溫精度 | ±0.2℃/>1280℃恒溫區(qū)內(nèi) |
8 | 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性 | ±0.2℃ |
9 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
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JRF 系列
略
VSF-V 石英槽沉爐
氮化鋁粉體量產(chǎn)爐
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蓄熱式熱力氧化RTO
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