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產(chǎn)品概述：
主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的陶瓷制品的真空燒結(jié)和氣壓燒結(jié)等。具有臥式和立式兩種結(jié)構(gòu)。

應(yīng)用領(lǐng)域：
氮化硅陶瓷球、軸承、導(dǎo)熱基板、平臺、導(dǎo)軌、刀具、結(jié)構(gòu)件等。

技術(shù)特征：

□ 采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；

□ 全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強；

□ 可具備真空燒結(jié)、壓力燒結(jié)、負壓脫脂燒結(jié)、微正壓燒結(jié)等功能；

□ 具有超溫超壓等故障報警，機械式自動壓力保護，動作互鎖等功能，設(shè)備安全性高；

□ 可選配脫脂系統(tǒng)，實現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理；

□ 適于工藝氣氛：N?/Ar/H?/。