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應力雙折射測量儀

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北京歐屹科技有限公司

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產品介紹

在PA系類設備的基礎上,加裝晶圓專用的裝置,可以高效精確的測量SIC和藍寶石這類光學性能特殊的產品的雙折射和殘余應力的信息。

應力雙折射測量儀主要特點

  • 操作簡單,測量速度可以快到3秒。

  • 視野范圍內可一次測量,測量范圍廣。

  • 更直觀的全面讀取數據,無遺漏數據點。

  • 具有多種分析功能和測量結果的比較。

  • 維護簡單,不含旋轉光學濾片的機構。

  • 高達2056x2464像素的偏振相機。

應力雙折射測量儀應用領域:
  • SIC

  • 藍寶石

應力雙折射測量儀技術參數:

項次 項目 具體參數
1輸出項目相位差【nm】,軸方向【°】,相位差與應力換算(選配)【MPa】
2測量波長520nm
3雙折射測量范圍0-130nm
4測量*小分辨率0.001nm
5測量重復精度<1nm(西格瑪)
6視野尺寸40x48mm到240x320mm(標準)
7選配鏡頭視野不適用
8選配功能 實時解析軟件,鏡片解析軟件,數據處理軟件,實現外部控制

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應力雙折射測量儀

北京歐屹科技有限公司

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