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主要特點(diǎn)：

**的快速平行X光電子實(shí)時成像，可進(jìn)行微區(qū)元素和化學(xué)態(tài)空間分布分析

X光電子成像保證空間分辨率優(yōu)于3μm，**達(dá)到1μm

標(biāo)準(zhǔn)主機(jī)包含大面積XPS分析，、小面積XPS分析和ISS分析， XPS Imaging and XPS Mapping 等項功能

多種其它表面分析功能選件，如 AES/SAM、UPS和靈活多樣的樣品制備裝置

可保證**能量分辨率優(yōu)于 0.45eV，。足以進(jìn)行精細(xì)化學(xué)結(jié)構(gòu)和化學(xué)價態(tài)分析

極好的譜分析靈敏度——可進(jìn)行快速數(shù)據(jù)采集和分析， 取譜只需幾秒鐘

同軸中和電子槍—使得絕緣樣品分析簡單方便和有效

高性能深度剖析－可進(jìn)行表面與界面、三維成分深度分布分析

THERMO VG先進(jìn)的專業(yè)表面分析軟件AVANTAGE，WINDOWS NT操作平臺。工業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)，分析功能強(qiáng)大，操作使用直觀方便，與其它商業(yè)應(yīng)用軟件兼容性好。