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ADC100直流放弧探測器

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產(chǎn)品介紹

特征概覽:

  • 監(jiān)測直流電源的電壓及功率傳輸
  • 高速采樣頻率，可達10萬赫茲

應(yīng)用：

  • 用于探測半導(dǎo)體，平板顯示器及太陽能等行業(yè)PVD腔體工藝制程過程中等離子體放弧（Arcing）。

產(chǎn)品咨詢

ADC100直流放弧探測器

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