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真空氣相沉積爐

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上海煜志科技有限公司(杭州嘉悅智能設備有限公司)

上海

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843

產品介紹

簡介

本設備主要用于碳素制品的化學氣相沉積增密處理,或以碳氫氣體為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理及碳氈制品真空碳化其熱處理。質量優越,性能穩定,價格遠遠低于進口同類產品。同時上海煜志良好的售后服務,使得該產品的整體評價遠超同行業標準。

主要技術參數

型號

工作區尺寸

D×Hmm

**溫度

溫度均勻性

冷態極限真空度

Pa

壓升率

Pa/h

加熱功率

kW

YVCVD-2030G

Φ200×300

1500

±5

50

3

25

YVCVD-2540G

Φ250×400

1500

±5

50

3

40

YVCVD-3050G

Φ300×500

1500

±5

50

3

55

注:以上技術參數可根據工藝進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

可根據客戶要求定制!

特色與優勢

1、質量優越,雙層SUS304爐體結構,中間通以冷卻水,有效降低爐體表面溫度,減少高溫傷害,降低對環境的影響;

2、采用先進的保溫材料及隔熱結構,導熱系數低,保溫效果好,即使在很高的溫度下也能有效隔絕熱量,節約能耗;

3、能夠準確控制氣體流量和壓力,通過特殊的導氣結構和裝置,大大提高產品的合格率,降低沉積時間;

4、通過特殊的過濾裝置,使其熱解過程的碳粉幾乎完全過濾,不進入真空機組,大大延長了真空機組的使用壽命;

5、人性化配置,既可以手動操作,也可以實現一鍵智能操作

6、型式多樣化,立式上開門、立式底升式、臥式側開門,任意選擇

產品咨詢

真空氣相沉積爐

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