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槽式濕法清洗設(shè)備

槽式濕法清洗設(shè)備

直接聯(lián)系

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

美國

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價：

面議

品牌：

盛美半導(dǎo)體

型號：

槽式濕法清洗設(shè)備

關(guān)注度：

982

產(chǎn)品介紹

主要優(yōu)勢

小尺寸，高產(chǎn)能

先進的IPA干燥方式

工序可靈活編輯

無盒式（No-Cassette）50片晶圓批次處理

節(jié)能減排，降低成本


特征規(guī)格

配備先進的IPA干燥槽

配備穩(wěn)定的晶圓傳輸系統(tǒng)

模塊化設(shè)計，可客制化組合選配

可選配一體式清洗模塊（多種化學(xué)藥水與純水在同一槽中進行工藝）

可選配兆聲波清洗


關(guān)鍵應(yīng)用

  


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槽式濕法清洗設(shè)備

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