粉體行業(yè)在線展覽
粉體行業(yè)在線展覽
立式爐設(shè)備
直接聯(lián)系
盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
美國
面議
盛美半導(dǎo)體
立式爐設(shè)備
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具有高產(chǎn)、可靠和穩(wěn)定的性能。通過高精度的溫度控制技術(shù)、良好的均勻性和小顆?？刂?，來保持優(yōu)異的薄膜質(zhì)量；
通過更高性能的增強設(shè)計實現(xiàn)高產(chǎn)能，并減少停機維護時間；
運用氣體對腔體進行干法清洗，來控制小顆粒雜質(zhì)；
裝載區(qū)運用低氧控制技術(shù)以抑制晶圓表面的自然氧化。
可以一次性操作裝載的晶圓數(shù)量為50-125片（晶圓/批）
可配備快速升降溫控制系統(tǒng)
腔體原位干法清洗系統(tǒng)
電鍍設(shè)備X
單片清洗設(shè)備
Post-CMP清洗設(shè)備
無應(yīng)力拋光設(shè)備
濕法去膠設(shè)備
濕法刻蝕設(shè)備
顯影設(shè)備
涂膠設(shè)備
電鍍設(shè)備A
PECVD設(shè)備
前道涂膠顯影設(shè)備
立式爐設(shè)備
TEM 熱、電、氣、液、冷凍樣品桿
X-300 X-FLUXER? 三位全自動熔片儀
合金分析儀
TZ-517D
SHM1000
其他
NAI-ZLY-4/6C
CX-100
EMC-1
HMYX-2000
EXAKT 80E
NJ-80型
