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技術特點：

●  亞微米線寬工藝

●  高均勻性和一致性

●  去離子水減少高達80% 

●  工藝介質減少高達80%

●  封閉式系統

●  可柔性多腔室組合

設備用途：

●  閃蝕工藝

●  清洗工藝

●  剝膜工藝

●  顯像工藝

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