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工作原理

離子減薄制樣技術(shù)屬于離子束加工范疇。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面、高能離子與樣品表面原子發(fā)生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子逸出功時(shí)，便飛離樣品，從而使樣品逐漸減薄。離子減薄儀通常用雙槍從樣品兩側(cè)轟擊。樣品隨著支架旋轉(zhuǎn)，使得離子束轟擊均勻。

產(chǎn)品描述

GL2011型離子減薄儀由國(guó)內(nèi)頂尖專(zhuān)家精心設(shè)計(jì)制作，性能穩(wěn)定，應(yīng)用廣泛，可對(duì)金屬、非 金屬、陶瓷、礦物、半導(dǎo)體、骨骼、牙齒等幾乎所有固體材料進(jìn)行精密減薄處理。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 多功能樣品臺(tái)，兼具離子減薄和離子拋光功能

• 離子束流自動(dòng)控制

• 監(jiān)視系統(tǒng)采用聚光光源

• 減薄過(guò)程無(wú)離子束遮擋

• 精心設(shè)計(jì)防污染觀察系統(tǒng)

• 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，精密

  設(shè)計(jì)，防誤操作系統(tǒng)

• 樣品潔凈，樣品信息更為

  真實(shí)可靠

產(chǎn)品名稱(chēng)

離子減薄儀

離子束加速電壓

0-10KV 連續(xù)可調(diào)

**束流密度

大于 200μA/cm

減薄速度 ( 銅)

30μ/h（**）

樣品對(duì)離子束的傾角

5-90°（普通臺(tái)） 0-90°（精細(xì)拋光臺(tái)）

真空度

5×10-3Pa（不送氣）

離子束對(duì)樣品的*小傾角

7°（普通試樣臺(tái)） 2°（拋光試樣臺(tái)）

減薄20微米

減薄25微米

案例說(shuō)明：

樣品為約100u的鋁箔，表面為鋁的氧化物。用化學(xué)方法或者物理摩擦的方法減薄，都會(huì)非常明顯的破壞樣品表面形貌，甚至改變樣品化學(xué)成分。

使用GL-2011型離子減薄儀減薄后，在電子顯微鏡下可以觀察到，樣品沒(méi)有任何變形，而且獲得**清晰的樣品圖像。