粉體行業在線展覽
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優尼康科技有限公司
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1082
F40薄膜厚度測量儀
結合顯微鏡的薄膜測量系統
Filmetrics F40-EXR 搭配 SS-Microscope-EXR-1系統
Filmetrics的精密光譜測量系統讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學常數，通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析，幾秒鐘內就可測量結果。當測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區域進行，或者其他應用要求光斑小至1微米時，F40是zui好的選擇。使用先前足部校正顯微鏡的物鏡，再進行測量，即可獲得精zhun的厚度及光學參數值。只要透過Filmetrics的C-mount連接附件，F40就可以和市面上多數的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭，可以讓用戶從電腦屏幕上清晰地看樣品和測量位置。
* 取決于材料
1.使用5X物鏡參考
2.是基于連續20天，每天在Si基底上對厚度為500納米的SiO2 薄膜樣品連續測
量100次所得厚度值的標準偏差的平均值
3.是基于連續20天，每天在Si基底上對厚度為500納米的SiO2薄膜樣品連續測
量100次所得厚度值的2倍標準偏差的平均值
選擇Filmetrics的優勢
• 桌面式薄膜厚度測量的全球**者
• 24小時電話，E-mail和在線支持
• 所有系統皆使用直觀的標準分析軟件
附 加 特 性
• 嵌入式在線診斷方式
• 免費離線分析軟件
• 精細的歷史數據功能，幫助用戶有效地存儲，重現與繪制測試結果
相關應用
半導體制造生物醫學原件
• 光刻膠 • 聚合物/聚對二甲苯
• 氧化物/氮化物 • 生物膜/球囊壁厚度
• 硅或其他半導體膜層 • 植入藥物涂層
微電子液晶顯示器
• 光刻膠 • 盒厚
• 硅膜 • 聚酰亞胺
•氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡 • 導電透明膜
