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三維測力系統

三維測力系統是美嘉圖公司的**項目，于**，它有可供調節的三維機械轉軸和能夠精確移動的Luld平臺，通過此平臺的精確移動來保證抓取樣品的成功率，能保證精確地定位和多方向多角度的測量樣品和抓手之間的粘附力；可以做到準確測量 5nN 到 100000nN 之間的壓縮力和張力；可安裝多種測量接頭以應對復雜的測試環境和多樣的測試樣品。

一、 l Ludl 操作平臺與Z軸系統、機械手臂

采用美國LUDL公司出產的移動平臺，擁有高分辨率的 0.1μm 分辨率的線性編碼器和交叉滾動軸承導軌，保證了定位的精確性和穩定度。機器手的長度、Z 軸高度與傳感器接頭都是可定制的，可以滿足不同環境下的對不同形狀樣品的測量。精確的位置定位功能，可以輔助 MetaMorph 軟件對樣品進行圖案化操作，實現微觀的樣品測試。

二、 0 MAC6000 平臺

MAC6000系統是LEP第六代自動控制器。主要用于顯微鏡自動系統，該系統具有靈活的通訊端口，并支持較大范圍的馬達驅動和 I/O 控制設備。系統配置比先前 LEP 控制器早期的版本更加簡化靈活。它具有卡盤式固定結構，保證操作時樣品的固定。其消除了傳統設計既定的強加限制，MAC6000 控制器只能配備組件的不同組合，以滿足不同的應用需求。MetaMorph 軟件實現樣品的精確定位及圖案化。

三、 顯微鏡

SMZ 1270 顯微鏡及通用支架技術參數：SMZ1270 顯微鏡為放大倍數 6.3x-80x；可以更換為 smz800N 型號，變倍系數及放大倍數與 smz1270 顯微鏡一致。通用支架：垂直移動**距離 229mm，水平移動**距離 272mm，聚焦區域40mm，加載接頭約 0.6kg，抗靜電。分辨率 0.9μm，景深 8.6μm。

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