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TOPCON拓普康芯片外觀檢測設備Vi4202

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青島佳鼎半導體

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佳鼎半導體

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TOPCON拓普康芯片外觀檢測設備Vi4202

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TOPCON拓普康芯片外觀檢測設備Vi4202可以全自動檢查在晶片上圖案化的芯片和在擴展前切割的晶片(表面朝上/背面朝上)中的微小異物和缺陷,并以芯片為單位確定合格與否。

環境條件:

溫度范圍:20~27℃;

濕度范圍:50%±20%以內;

環境潔凈度:1000級;

安裝底板每個軸振幅:<64μm;



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